揭秘电子半导体石墨的六大使用要点

　　电子半导体石墨是一种在电子和半导体行业中具有广泛应用前景的石墨材料。通过对传统石墨进行改性处理，使其具备了半导体特性的一类材料。这种改性处理使得石墨在保持原有优良导电性能的基础上，又具备了与传统半导体相似的导电和导热特性，从而在电子器件中能够发挥重要作用。

　　电子半导体石墨的注意事项主要包括以下几个方面：

　　1、防护措施：

　　防尘防吸入：石墨具有极细的颗粒，容易悬浮在空气中并被吸入呼吸道，对人体健康产生影响。因此，操作时应戴上合适的防护口罩和手套，防止石墨粉尘进入呼吸道和皮肤。

　　避免直接接触导电体：石墨具有高的导电性，与金属或其他导电材料接触时可能导致电路短路或触电危险。在处理石墨时应特别注意避免直接接触导电体，并在操作台面上铺设绝缘材料。

　　2、工作环境及加工要求：

　　良好的工作环境：减少碰撞，保持工作环境清洁，定时检查电路，在最佳温度下组织出产，减少空气对石墨的氧化程度等，有助于延长石墨板的使用寿命。

　　加工质量：加工必须仔细，达到规范目标，比如浸渍要均匀，使电阻率基本保持一致，避免生产过程中出现部分完好而部分腐蚀严重的情况，从而减少浪费。

　　3、高温下的注意事项：

　　有害气体释放：石墨在高温情况下可能会释放出有害气体，如一氧化碳和二氧化碳等，因此在加工石墨时应特别注意通风换气，以减少有害气体对人体的影响。

　　4、高纯度要求：

　　在半导体制造中，高纯度是关键要求。高纯石墨部件广泛应用于半导体晶体生长、外延、离子注入、等离子蚀刻等制造工艺中。石墨中的杂质含量应保持在百万分之五以下，以满足半导体制造的高纯度需求。

　　5、特殊性能的应用：

　　耐高温：石墨融点和沸点都很高，热膨胀系数小，强度随温度升高而加强。在半导体制造的高温环境下，石墨能保持良好的性能。

　　导电导热性：石墨具有良好的导电性和导热性，超过钢、铁、铅等金属材料，在半导体制造中的加热器、坩埚等部件中有重要应用。

　　化学稳定性：常温下石墨有良好的化学稳定性，能耐酸、耐碱和耐有机溶剂的腐蚀，适用于半导体制造中的多种工艺环境。

　　6、存储与运输：

　　防潮防破损：石墨材料应储存在干燥、阴凉的地方，远离火源和热源，避免阳光直射。同时，要注意防止石墨材料的包装破损，以免影响其质量。